российский физик, академик РАН, доктор физико-математических наук, профессор, научный руководитель Физико-технологического института РАН.
Окончив физико-математический факультет Казанского университета в 1954 г. с отличием по специальности «физика», продолжил образование в аспирантуре Казанского университета. В 1953-1964 гг. (последовательно) старший преподаватель, доцент, заведующим кафедрой физики Казанского педагогического института. Кандидат физико-математических наук (1958). Тема диссертации: «Магнитный резонанс на ядрах парамагнитных атомов». Доктор физико-математических наук (1963). Тема диссертации: «Теоретические вопросы исследования жидкого вещества спектроскопическими методами (магнитный резонанс и молекулярное рассеяние и поглощение света)». В 1967 г. ему было присвоено звание профессора. В 1972 г. был избран членом-корреспондентом АН СССР. Отделение общей физики и астрономии. В 1984 г. был избран академиком АН СССР. Отделение информатики, вычислительной техники и автоматизации.
В 1965-1978 гг. – первый директор НИИ молекулярной электроники и завода «Микрон». В 1967-1981 гг. – основатель и первый заведующий кафедрой интегральных полупроводниковых схем (ныне кафедра интегральной электроники и микросистем) МИЭТ. В 1977-1983 гг. – заведующий сектором микроэлектроники Физического института им. П. Н. Лебедева, а в 1984-1988 гг. – заведующий лабораторией (отделом) микроэлектроники Института общей физики. В 1986 г. – директор-организатор Института микроэлектроники АН СССР в Ярославле. В 1988 г. отдел был выделен в Физико-технологический институт, и ученый стал его первым директором. В 2005 г. передал руководство А. А. Орликовскому, став научным руководителем института. В 1989-1992 гг. одновременно с работой во ФТИАНе в связи со скоропостижной кончиной Б. В. Баталова временно исполнял обязанности директора зеленоградского НИИСАПРАН. Заведующий кафедрой физических и технологических проблем микроэлектроники МФТИ. В Московском университете работал с 2001 г., возглавив кафедру квантовой информатики факультета ВМК МГУ. Главный редактор журнала «Микроэлектроника».